Note technique : la technologie piézorésistive pour accéléromètres et capteurs de pression

Le « Mems » est un microsystème électromécanique - en anglais « Micro Electro Mechanical Systems » qui est fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. L’intérêt de cette technologie est sa dimension microscopique, de l’ordre d’une dizaine de nanomètres qui permet une intégration dans un composant miniature. L’assemblage de silicium et composants variés associés dans un processus d’usinage donne une réponse électrique au niveau du comportement micromécanique de la pièce.
Les capteurs piézorésistifs sont assemblés en pont de Wheatstone. Cela consiste en un circuit électrique passif, qui utilise des éléments résistifs variables (bras) dont le déséquilibre sera converti en signal. Le signal délivré est proportionnel à la déformation mécanique des bras. Le signal délivré est en millivolt (mV).

Cette note technique entre dans le détail du fonctionnement des accéléromètres et capteurs de pression issus de cette technologie.

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