Note technique : la technologie capacitive pour les accéléromètres

Les MEMS (systèmes micro-électromécaniques) désignent tout capteur fabriqué à l’aide de techniques de fabrication microélectronique.
Ces techniques créent des éléments sensibles mécanique de taille microscopique, généralement sur du silicium. Lorsqu’ils sont couplés à des circuits microélectroniques, les capteurs MEMS peuvent être utilisés pour mesurer des paramètres physiques tels que l’accélération. Contrairement aux capteurs ICP®, les capteurs MEMS mesurent des fréquences jusqu’à 0 Hz (accélération statique ou continue). Les accéléromètres MEMS à capacité variable (VC) sont des dispositifs à plage plus basse et à sensibilité élevée utilisés pour la surveillance structurelle et les mesures d’accélération constante.

Cette note technique entre dans le détail du foncionnement de ces accéléromètres.

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